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Mikrosystemtechnik by Ulrich Hilleringmann, Paperback | Indigo Chapters
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Mikrosystemtechnik by Ulrich Hilleringmann, Paperback | Indigo Chapters
From Ulrich Hilleringmann
Current price: $51.95
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Size: 25.4 x 210 x 454
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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. | Mikrosystemtechnik by Ulrich Hilleringmann, Paperback | Indigo Chapters